简要描述：150R S Plus Sputter Coater，产品型号： 4500。
EMS 150R ES 是一款组合式溅射镀膜机和碳蒸发器。

是一款紧凑型旋转泵涂层系统，非常适合 SEM 和其他涂层应用。EMS150R 提供三种形式：

EMS150R S – 紧凑型旋转泵浦溅射镀膜机，适用于非氧化金属，例如金 (Au) 和铂 (Pt)

EMS150R E – 适用于 SEM 应用的紧凑型旋转泵碳纤维镀膜机

EMS150R ES – 紧凑型旋转泵组合式溅射镀膜机和碳蒸发器

主要特征

• 金属溅射或碳蒸发 – 或两者 – 在一个节省空间的设计中

• 旋转泵溅射镀膜 – 可溅射各种非氧化（贵金属）金属，例如金 (Au)、铂 (Pt)、银 (Ag) 和钯 (Pd)

• 碳纤维涂层——SEM 碳涂层应用的理想选择（例如 EDS 和 WDS）

• 先进设计的碳蒸发枪——操作简单，结果可重现

• 辉光放电选项 – 用于修改样品表面特性（例如疏水
  到亲水的转换）或用于清洁/去除污染表面残留物

• 控制蒸发电流曲线——确保始终如一地重现碳膜

• 使用薄膜厚度监控选项进行可重复的厚度控制

• 全自动触摸屏控制——数据输入迅速，操作简单

• 可以存储多个客户定义的涂层协议——多用户实验室的理想选择

• 自动真空控制，可根据工艺和材料进行预编程——无需调节针阀

• “智能”识别系统——自动检测安装的涂层插件类型

• 易于更换的插入式样品台（标准旋转台）

• 厚膜能力——溅射时间长达 60 分钟而不破坏真空

• 符合人体工程学的一体成型外壳 – 易于维护和维修

• 带有本地 FTP 服务器连接的以太网 – 简单的编程器更新